高溫真空氣氛爐真空系統(tǒng)說(shuō)明如下；
 

　　1、真空系統(tǒng)為擴(kuò)散泵機(jī)組：即為擴(kuò)散泵+旋片真空泵；由高真空擴(kuò)散泵、水冷擋板、旋片真空泵、電磁真空帶充氣閥、高真空氣動(dòng)檔板閥(主閥)、高真空氣動(dòng)檔板閥預(yù)抽閥、高真空氣動(dòng)檔板閥(出口閥)、前級(jí)管路充氣閥、連接管路、密封圈、復(fù)合真空計(jì)及配電柜等組成的抽氣系統(tǒng)。
 

　　2、本機(jī)組不適宜抽除對(duì)金屬有腐蝕作用和對(duì)泵油起化學(xué)反應(yīng)的氣體。它可作為真空冶煉、真空燒結(jié)、真空熱處理、真空鍍膜、真空釬焊、太空模擬實(shí)驗(yàn)裝置等高科技設(shè)備的高真空獲得裝置。工作環(huán)境溫度5~40℃，相對(duì)濕度不大于85%，冷卻水溫度25℃+5℃。
 

　　3、真空度與真空泵的抽氣能力、艙室的密封性以及艙室內(nèi)部材料(爐體內(nèi)壁、實(shí)驗(yàn)器件、熱沉等)的放氣量有關(guān)，本機(jī)組的極限壓力為1×10-3pa,使用壓力為1×10-2pa，抽氣時(shí)間約為1小時(shí)。
 

　　4、擴(kuò)散泵不能單獨(dú)形成抽氣，需由前級(jí)泵將系統(tǒng)壓力降低至擴(kuò)散泵要求啟動(dòng)的壓力之內(nèi)，一般為≤10pa。
 

　　5、在擴(kuò)散泵的進(jìn)氣口裝有新型的水冷檔板，可有效的防止擴(kuò)散泵中的油蒸汽返流入真空室內(nèi)，避免對(duì)實(shí)驗(yàn)儀器的污染。
 

　　6、 為了防止前級(jí)泵中的真空油在停泵時(shí)返流入擴(kuò)散泵泵腔內(nèi)，需在前級(jí)真空的進(jìn)?氣口配電磁閥，在停泵時(shí)自動(dòng)將系統(tǒng)管路隔離。
 

　　7、閥門采用氣動(dòng)方式，操作方便。
 

　　8、在開始抽氣時(shí) ,此系統(tǒng)中設(shè)置有預(yù)抽管路,被抽氣體不經(jīng)過(guò)擴(kuò)散泵而由前級(jí)泵直接抽出,這樣做可避免被抽容器中氣體對(duì)擴(kuò)散泵的污染(水分、揮發(fā)物、雜質(zhì))，待被抽容器壓力降低至10pa時(shí),關(guān)閉預(yù)抽閥、開啟擋板閥,擴(kuò)散泵開始對(duì)被抽容器開始正常抽氣。